Магнетрон планарний

Пристрій магнетронного розпорошування МП.01-03 експлуатується у складі установок вакуумного осадження і призначено для отримання тонко-плівкових покриттів різного призначення. Катод-мішень пристрою магнетронного розпорошування є джерелом матеріалу, що розпорошується. Пристрій магнетронного розпорошування типу МП.01-03 використовується для розпорошення струмопровідних немагнітних матеріалів. Пристрій магнетронного розпорошування є складовою частиною магнетронної розпорошувальної системи і експлуатується спільно з блоком живлення і системою подачі робочого газу. Виріб може експлуатуватися в лабораторних і виробничих приміщеннях при температури навколишнього середовища від 5 °С до 40 °С, при відносній вогкості не більше 80 %.

Пристрій магнетронного розпорошення МП.01-03 розроблено спеціально для модернізації існуючих установок БУЛАТ-6 для переводу їх з дугового режиму роботи на магнетронний. Заміна штатних дугових джерел матеріалу покриття дозволяє істотно понизити температуру підкладок, що обробляються і це дає можливість обробляти деталі з низькою температурою фазових переходів. Крім того, у складі потоку матеріалу, що генерує пристрій магнетронного розпорошення МП.01-03, повністю відсутня краплинна фаза, що дозволяє одержувати більш якісні покриття без пір і з меншою шорсткістю поверхні. При виготовленні пристрою магнетронного розпорошення МП.01-03 використовується велика кількість деталей від штатного дугового джерела плазми установки Булат-6, що істотно здешевлює і прискорює процес її модернізації.

Пристрій магнетронного розпорошування МП.01-03

Поверхня деталі з покриттям, нанесеним за допомогою штатного дугового джерела установки Булат-6

Поверхня деталі з покриттям, нанесеним за допомогою пристрою магнетронного розпорошення МП.01-03

Технічні характеристики магнетронного розпорошування МП.01-03