bell Created using Figma Vector Created using Figma calendar Created using Figma earth-globe Created using Figma envelope Created using Figma Fax 1 Created using Figma Vector Created using Figma Vector Created using Figma telephone-handle-silhouette Created using Figma
Магнетрон планарный
Магнетрон планарный

Устройство магнетронного распыления МП.01-03 эксплуатируется в составе установок вакуумного напыления и предназначено для получения тонкопленочных покрытий различного назначения. Катод-мишень устройства магнетронного распыления является источником распыляемого материала. Устройство магнетронного распыления типа МП.01-03 используется для распыления токопроводящих немагнитных материалов. Устройство магнетронного распыления является составной частью магнетронно-распылительной системы и эксплуатируется совместно с блоком питания и системой подачи рабочего газа. Изделие может эксплуатироваться в лабораторных и производственных помещениях при соблюдении температуры окружающей среды от 5 °С до 40 °С, при относительной влажности не более 80%.

Устройство магнетронного распыления МП.01-03

Технические характеристики

Назначение

Распыление проводящих мишеней

Тип

Магнетрон постоянного тока

Давление плазмообразующего газа, мм рт. ст.

9∙10-4 - 8∙10-3

Рабочее напряжение, В

350-600

Рабочий ток, А

0,5-6

Диаметр катода-мишени, мм

116

Тип магнитной системы

Постоянные магниты

Место установки

Стандартный патрубок ДУ250

Тип охлаждения

Водяное

Устройство магнетронного распыления МП.01-03 специально разработано для модернизации существующих установок БУЛАТ-6 для перевода их с дугового режима работы на магнетронный. Замена штатных дуговых источников напыляемого материала позволяет существенно снизить температуру обрабатываемых подложек, что даёт возможность обрабатывать детали с низкой температурой фазовых переходов. Кроме того, в составе потока материала, генерируемого устройство магнетронного распыления МП.01-03,полностью отсутствует капельная фаза, что позволяет получать более качественные покрытия без пор и с меньшей шероховатостью поверхности. При изготовлении устройства магнетронного распыления МП.01-03 используется большое количество деталей от штатного дугового источника плазмы установки Булат-6, что существенно удешевляет и ускоряет процесс ее модернизации.

Поверхность детали с покрытием, нанесённым при помощи штатного дугового источника установки Булат-6

Поверхность детали с покрытием, нанесённым при помощи устройства магнетронного распыления МП.01-03

назад

Узнай больше о специальностях ХАИ

Узнать